Tháng 4 năm 515 TCN, trong lúc chiến sự với nước Sở chưa ngã ngũ thì công tử Quang mưu đoạt ngôi vua nước Ngô.

Công tử Quang mời Ngô vương Liêu đến dự tiệc rồi sai dũng sĩ Chuyên Chư hành thích ông. Chuyên Chư giấu sẵn lưỡi dao trong bụng cá, khi bưng cá đến gần Ngô vương bèn rút dao ra bất ngờ đâm Ngô vương. Ngô vương chết tại chỗ, không rõ năm đó ông bao nhiêu tuổi.

Ngô vương Liêu ở ngôi được 12 năm. Công tử Quang giành ngôi báu, tức là Ngô Hạp Lư.

Sau này chú ông là Quý Trát ở nước Tấn trở về đã đến khóc bên mộ ông. Hai người con ông là Yểm Dư và Chúc Dung nghe tin trong nước Ngô có biến bèn hàng nước Sở và được Sở Chiêu vương phong cho ở đất Thư.